설명:
저온유지장치 순환기/저온 자동온도조절 순환기 가열 냉각수조단결정 웨이퍼 세척 및 재인쇄, 인쇄기, 자동 홀더 장착 장치, 스프레이 장치, 이온 도금 장치, 에칭 장치, 단결정 웨이퍼 가공 장치, 슬라이서, 포장기, 온도 등 반도체 제조 장비의 가열부 냉각에 자주 사용됩니다. 현상액 관리, 노광 장치, 자기 발생부의 가열 장치 등 레이저 장비의 가열 부분 냉각에도 큰 역할을 합니다: 레이저 가공, 융착기 가열 부분, 레이저 마커, 발생기, CO2 레이저 가공 기계 등
기술적인 매개변수:
모델 | 온도범위(℃) | 분해능(℃) | 변동(±℃) | 탱크 용량(L) | 펌프 유량(L/min) | 전력(kw) | 치수(mm) |
HX-08 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.3 | 320*370*675 |
HX-010 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
HX-015 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
HX-020 | 20 | 2.1 | 400*450*1040 | ||||
HX-030 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
HX-0508 | -5~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.3 | 320*370*675 |
HX-0510 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
HX-0515 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
HX-0520 | 20 | 2.1 | 400*450*1040 | ||||
HX-0530 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
HX-1008 | -10~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.4 | 320*370*675 |
HX-1010 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
HX-1015 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
HX-1020 | 20 | 2.2 | 400*450*1040 | ||||
HX-1030 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
HX-2008 | -20~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.4 | 320*370*765 |
HX-2010 | 10 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
HX-2015 | 15 | 2.0 | 320*370*765 | ||||
HX-2020 | 20 | 2.3 | 400*450*1040 | ||||
HX-2030 | 30 | 2.5 | 450*540*990 | ||||
HX-3008 | -30~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.6 | 400*450*940 |
HX-3010 | 10 | 1.7 | 400*450*940 | ||||
HX-3015 | 15 | 2.1 | 400*450*940 | ||||
HX-3020 | 20 | 2.3 | 400*450*1040 | ||||
HX-3030 | 30 | 2.5 | 450*540*990 | ||||
HX-4008 | -40~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.8 | 400*450*940 |
HX-4010 | 10 | 2.0 | 450*540*990 | ||||
HX-4015 | 15 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
HX-4020 | 20 | 2.5 | 400*450*1090 | ||||
HX-4030 | 30 | 2.7 | 450*540*1090 |
더 자세한 사진: