
คำอธิบาย:
เครื่องหมุนเวียนไครโอสแตท/อ่างน้ำทำความร้อนและความเย็นแบบเทอร์โมสแตติกอุณหภูมิต่ำมักใช้ในการระบายความร้อนส่วนทำความร้อนของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: เครื่องล้างและพิมพ์ซ้ำเวเฟอร์คริสตัลเดี่ยว เครื่องพิมพ์ อุปกรณ์ติดตั้งตัวยึดอัตโนมัติ อุปกรณ์พ่น อุปกรณ์ชุบไอออน อุปกรณ์แกะสลัก อุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์คริสตัลเดี่ยว เครื่องตัด เครื่องบรรจุภัณฑ์ การจัดการอุณหภูมิของผู้พัฒนา อุปกรณ์รับแสง อุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับส่วนสร้างแม่เหล็ก ฯลฯ นอกจากนี้ยังมีบทบาทสำคัญในการระบายความร้อนส่วนทำความร้อนของอุปกรณ์เลเซอร์: การประมวลผลด้วยเลเซอร์ ส่วนทำความร้อนของเครื่องฟิวชั่น เลเซอร์มาร์กเกอร์ เครื่องกำเนิดไฟฟ้า เครื่องประมวลผลเลเซอร์ CO2 ฯลฯ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
| แบบอย่าง | ช่วงอุณหภูมิ (℃) | ความละเอียด (℃) | ความผันผวน (±℃) | ปริมาตรถัง (ลิตร) | อัตราการไหลของปั๊ม (ลิตร/นาที) | กำลังไฟฟ้า (กิโลวัตต์) | ขนาด (มม.) |
| เอชเอ็กซ์-08 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.3 | 320*370*675 |
| เอชเอ็กซ์-010 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
| HX-015 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
| เอชเอ็กซ์-020 | 20 | 2.1 | 400*450*1040 | ||||
| HX-030 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
| HX-0508 | -5~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.3 | 320*370*675 |
| HX-0510 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
| HX-0515 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
| HX-0520 | 20 | 2.1 | 400*450*1040 | ||||
| HX-0530 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
| เอชเอ็กซ์-1008 | -10~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.4 | 320*370*675 |
| HX-1010 | 10 | 1.6 | 320*370*765 | ||||
| HX-1015 | 15 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
| HX-1020 | 20 | 2.2 | 400*450*1040 | ||||
| HX-1030 | 30 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
| เอชเอ็กซ์-2008 | -20~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.4 | 320*370*765 |
| เอชเอ็กซ์-2010 | 10 | 1.7 | 320*370*765 | ||||
| เอชเอ็กซ์-2015 | 15 | 2.0 | 320*370*765 | ||||
| เอชเอ็กซ์-2020 | 20 | 2.3 | 400*450*1040 | ||||
| HX-2030 | 30 | 2.5 | 450*540*990 | ||||
| HX-3008 | -30~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.6 | 400*450*940 |
| HX-3010 | 10 | 1.7 | 400*450*940 | ||||
| HX-3015 | 15 | 2.1 | 400*450*940 | ||||
| HX-3020 | 20 | 2.3 | 400*450*1040 | ||||
| HX-3030 | 30 | 2.5 | 450*540*990 | ||||
| HX-4008 | -40~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 1.8 | 400*450*940 |
| HX-4010 | 10 | 2.0 | 450*540*990 | ||||
| HX-4015 | 15 | 2.3 | 450*540*990 | ||||
| HX-4020 | 20 | 2.5 | 400*450*1090 | ||||
| HX-4030 | 30 | 2.7 | 450*540*1090 |
รูปภาพที่มีรายละเอียดเพิ่มเติม: