
คำอธิบาย:
เครื่องหมุนเวียนไครโอสแตท/อ่างน้ำทำความร้อนและความเย็นแบบเทอร์โมสแตติกอุณหภูมิต่ำมักใช้ในการระบายความร้อนส่วนทำความร้อนของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: เครื่องล้างและพิมพ์ซ้ำเวเฟอร์คริสตัลเดี่ยว เครื่องพิมพ์ อุปกรณ์ติดตั้งตัวยึดอัตโนมัติ อุปกรณ์พ่น อุปกรณ์ชุบไอออน อุปกรณ์แกะสลัก อุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์คริสตัลเดี่ยว เครื่องตัด เครื่องบรรจุภัณฑ์ การจัดการอุณหภูมิของผู้พัฒนา อุปกรณ์รับแสง อุปกรณ์ทำความร้อนสำหรับส่วนสร้างแม่เหล็ก ฯลฯ นอกจากนี้ยังมีบทบาทสำคัญในการระบายความร้อนส่วนทำความร้อนของอุปกรณ์เลเซอร์: การประมวลผลด้วยเลเซอร์ ส่วนทำความร้อนของเครื่องฟิวชั่น เลเซอร์มาร์กเกอร์ เครื่องกำเนิดไฟฟ้า เครื่องประมวลผลเลเซอร์ CO2 ฯลฯ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
| แบบอย่าง | ช่วงอุณหภูมิ (℃) | ปณิธาน (℃) | ความผันผวน (±℃) | ปริมาณ (ล) | อัตราการไหลของปั๊ม (ลิตร/นาที) | ลิฟต์ (ม.) | มิติ (มม.) |
| ทีแอลเอช-08 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 8 | 13 | 3 | 300*445*670 |
| ทีแอลเอช-0508 | -5~100 | 300*445*670 | |||||
| ทีแอลเอช1008 | -10~100 | 300*445*670 | |||||
| ทีแอลเอช-2008 | -20~100 | 300*445*670 | |||||
| ทีแอลเอช-3008 | -30~100 | 320*445*720 | |||||
| ทีแอลเอช-4008 | -40~100 | 320*445*720 | |||||
| ทีแอลเอช-010 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 10 | 13 | 3 | 300*445*710 |
| แอลเอช-0510 | -5~100 | 300*445*710 | |||||
| ทีแอลเอช-1010 | -10~100 | 300*445*710 | |||||
| ทีแอลเอช-2010 | -20~100 | 300*445*710 | |||||
| ทีแอลเอช-3010 | -30~100 | 320*445*760 | |||||
| ทีแอลเอช-4010 | -40~100 | 435*480*920 | |||||
| ทีแอลเอช-015 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 15 | 13 | 3 | 370*465*700 |
| ทีแอลเอช-0515 | -5~100 | 330*465*760 | |||||
| ทีแอลเอช-1015 | -10~100 | 330*465*760 | |||||
| ทีแอลเอช-2015 | -20~100 | 330*465*760 | |||||
| ทีแอลเอช-3015 | -30~100 | 435*480*920 | |||||
| ทีแอลเอช-4015 | -40~100 | 485*530*930 | |||||
| ทีแอลเอช-020 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 20 | 13 | 3 | 425*515*990 |
| ทีแอลเอช-0520 | -5~100 | 435*480*1020 | |||||
| ทีแอลเอช-1020 | -10~100 | 435*480*1020 | |||||
| ทีแอลเอช-2020 | -20~100 | 435*480*1020 | |||||
| ทีแอลเอช-3020 | -30~100 | 435*480*1020 | |||||
| ทีแอลเอช-4020 | -40~100 | 485*530*1050 | |||||
| ทีแอลเอช-030 | 0~100 | 0.01 | 0.05 | 30 | 13 | 3 | 425*515*910 |
| ทีแอลเอช-0530 | -5~100 | 485*605*990 | |||||
| ทีแอลเอช-1030 | -10~100 | 485*605*990 | |||||
| ทีแอลเอช-2030 | -20~100 | 485*605*990 | |||||
| ทีแอลเอช-3030 | -30~100 | 485*605*990 | |||||
| ทีแอลเอช-4030 | -40~100 | 485*605*990 |
รูปภาพที่มีรายละเอียดเพิ่มเติม: