Dòng HX (-5 ~ -40°C) ~ 100°C Phòng thí nghiệm Bể tuần hoàn làm nóng và làm mát bể ổn nhiệt lạnh trong phòng thí nghiệm

Bộ tuần hoàn lạnh/Bộ tuần hoàn nhiệt độ thấp sưởi ấm bể nước làm mátthường được sử dụng để làm mát bộ phận gia nhiệt của thiết bị sản xuất chất bán dẫn: rửa và in lại wafer đơn tinh thể, máy in, thiết bị gắn giá đỡ tự động, thiết bị phun, thiết bị mạ ion, thiết bị khắc, thiết bị xử lý wafer đơn tinh thể, máy thái, máy đóng gói, nhiệt độ quản lý nhà phát triển, thiết bị tiếp xúc với ánh sáng, thiết bị gia nhiệt cho bộ phận tạo từ, v.v. Nó còn đóng vai trò lớn trong việc làm mát bộ phận gia nhiệt của thiết bị laser: xử lý laser, bộ phận gia nhiệt của máy nhiệt hạch, máy đánh dấu laser, máy phát điện, xử lý laser CO2 máy, v.v.